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PIONEER-9 玻璃基板真空机械手
PIONEER-9 玻璃基板真空机械手

高温、高真空度、高洁净度传输、避免晶圆受到空气、杂质、离子等污染

具有碰撞保护系统以及AWC纠偏功能,大限度的保护了机械手和晶圆

被广泛应用于PVD,CVD、ALD、PECVD、MOCVD等工艺设备，支持客户化定制

机械手-玻璃基板_01.jpg机械手-玻璃基板_02.jpg机械手-玻璃基板_03.jpg

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