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四边形真空传输平台—VTM
四边形真空传输平台—VTM
适用于

150mm，200mm晶圆(含TAIKO、Frame晶圆)、掩膜、泛半导体物料(光伏硅板等)

PVD、CVD、ALD等半导体前道/泛半导体工艺设备

150-200mm及以下VTM详情页(0909新更新）.jpg四边形VTM详情页_02.jpg
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