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4/6/8寸外挂式真空寻边器

采用磁流体密封与智能算法校准，适配 ETCH、PVD、PECVD、MOCVD 等半导体设备，真空环境下快速定位晶圆中心、缺口与平边。搭载直驱电机及高精度编码器，支持 4/6/8 寸晶圆，组件可定制，洁净兼容，高精度高可靠，助力提升芯片制程良率与生产效率。

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