2026年10月16日湾区半导体产业生态博览会（湾芯展WESEMiBAY）在深圳会展中心（福田）正式落下帷幕。上海大族富创得及其子公司携多款自主研发半导体洁净传输核心产品或产品模型包括：搬运核心组件（搬运机器人Robot、寻边装置Aligner、装载平台LoadPort、真空腔体VTM等）、整机设备（12英寸 Frame EFEM、Mask EFEM、WTS\FTS、Smif -PLM200RX等）、整厂物料搬运系统AMHS等亮相展会。
展会开展前就50+媒体齐聚一堂，共同探讨展会及行业趋势，上海大族富创得子公司无锡富创得智能科技总经理刘华鹏出席并发言，表示上海大族富创得作为半导体洁净搬运第一梯队的企业，将与湾芯展一起砥砺前行，共谋发展，助力国内半导体设备产业链自主化建设。
刘总还表示，大族富创得的前身是美国富创得工程公司，一直是一家拥有国际视野的公司，并以美国、欧洲、东南亚、韩国、日本等迅速扩张，现已实现海外研发、生产、销售、售后等本土化布局。
展品介绍
SMIF PLM200RX
是 200mm 光罩 SMIF 自动开盒单元，采用紧凑型小占地设计，搭载 ISO Class1 主动自净气流系统，兼容 SEMI E100/113光罩盒与SEMI E152 EUV 外盒，可稳定输出 80N 锁盒作用力，内置载盒类型、光罩、保护膜多组传感检测，支持 OHT 天车对接，适配Fab厂自动化产线，保障光罩在密闭微环境下安全存取，降低污染风险。
12 英寸 Frame EFEM
是面向 300mm 晶圆制程的设备前端模块，作为工艺设备与晶圆载盒之间的核心接口，集成 LoadPort、洁净传输机械手与对准单元，模块化架构便于快速集成至各类刻蚀、沉积、检测设备，实现晶圆在洁净环境下的自动上下料，满足高产能、高稳定性量产需求，是 12 英寸产线国产化替代的关键模块。护膜多组传感检测，支持 OHT 天车对接，适配 Fab工厂自动化产线，保障光罩在密闭微环境下安全存取，降低污染风险。
Mask Sorter
光罩分选设备(Mask Sorter)支持将各种Shipping Box 的Mask/Reticle传输到生产工艺载具(Canon/Nikon/RSP等)之间的倒片转换，腔体内部的洁净等级可达到ISOClass1,整机可搭配多种形式的开盒模组，对中、翻转、扫码、目检、缓存等功能机构，可自定义编辑任意传片路径，支持客制化选配定制。
FTS
采用自主温控模块，实现腔体温度均匀分布，满足氧化、退火等高温工艺需求；通过闭环气路设计，有效抑制腔体内氧含量波动，保障薄膜沉积环境纯净；集成颗粒过滤与干式等离子清洗功能，减少污染源，延长维护周期；支持GEM300标准通信协议，兼容人工与自动化上下料，具备Mapping与ID识别功能，操作便捷。
Panel LoadPort
专为大尺寸面板、基板载具设计的装载端口，适配面板产线自动化对接需求，高洁净腔体结构，可实现基板的安全载入与送出，满足显示、大尺寸基板检测与制程设备的自动化对接。
单臂双叉机械手
大气环境晶圆传输主力机型，双叉交替取放，提升晶圆吞吐效率，重复定位精度高，广泛应用于EFEM/单片清洗工艺腔等半导体设备。
4爪6轴机械手
多自由度柔性洁净机械手，适配复杂空间取放，用于12腔单片清洗机EFEM内部晶圆的传送，能够高效地传送4片晶圆。
真空蛙腿机械手
专为真空腔体内部晶圆传输开发，在真空环境下保持低颗粒、高稳定性，满足刻蚀、薄膜等真空工艺腔体内晶圆搬运需求。
真空传输平台
真空传输系统可提供标准方案供制程设备进行对接，也可根据客户要求进行设备的客制化，软硬件均有成熟方案可供选择，满足不同的制程设备与实际工况的需求。
托举型寻边器
作为晶圆对准核心单元，采用托举式结构，完成晶圆边缘定位、缺口 / 平边识别与角度校正，为机械手精准取片、晶圆对位提供高精度基准，保障传输过程中晶圆位置一致性，降低碎片与偏移风险。
展会风采
展会现场，大族富创得展位迎来深圳多个相关政府领导和湾芯展相关领导等莅临参观指导，多家媒体争先报道。上海大族富创相关领导接待以及前端业务和后端技术人员在现场讲解设备及磋商。
在此期间，大族富创得还获“湾芯展-技术创新企业-装备技术”奖项，大族富创得依托大族集团平台优势与多年洁净传输技术积累，公司将持续迭代 EFEM、SMIF 系统、核心部件及AMHS等核心装备，不断提升产品稳定性、洁净度与兼容性，共建半导体产业生态，赋能国内集成电路产业高质量发展。
